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爱思强推出全球最高效的MOCVD反应器CRIUS® II-XL

  继成功推出CRIUS® II-L后,爱思强11月8日宣布MOCVD反应器的产能再上一层楼。19x4英寸规格的新型CRIUS® II-XL反应器产能超卓,产量及产能均问鼎世界之最。此外,CRIUS II-XL具备了同级设备中最优化的运作成本和占地效益。

  CRIUS® II-XL主要采用CRIUS® II-L的硬件配置。“需要更换的组件只有一项,就是衬托器底板。更换该部分以后,反应器的产能将大大提高,而且基本上无需额外成本”爱思强Close Coupled Showerhead® (CCS)近耦合技术喷淋头反应器技术的项目经理Johannes Lindner博士表示,“这是让CRIUS® II-L尽可能顺利升级成CRIUS® II-XL的其中一个关键设计标准。除此之外,只需作出极少的工艺调整就能升级至CRIUS® II-XL。”

  此款CRIUS®反应器系列的最新机型同样是根据市场需求(尤其是针对发光二极管制造成本)进行详尽分析后研发而成。“市场对高成本效益的发光二极管制造需求强烈,而我们深知MOCVD对降低成本意义重大,”爱思强营销副总裁Rainer Beccard博士表示,“众多参数当中,反应器的产能对总体拥有成本的影响最大。因此,我们决定设计出19x4英寸规格的反应器。这一反应器已由爱思强应用实验室进行全面检测,确保除了出众的产能以外,其一致性及良率也无可挑剔。可以选择使用2英寸到8英寸之间任何尺寸的晶圆,硬件上只需简单的更换石墨盘,不需要其它硬件或工艺上的调整。”

  CRIUS®II-XL是爱思强CCS产品系列的最新出品,实验证明,该产品可在长达数年的时间内提供最佳的生产稳定性并保持良好运作。MOCVD系统的标准功能包括反应器在位的高度调整,以便在任何工艺环境下都可以选择最优化的反应器结构,该系统还配备独特的ARGUS在位监测设备。


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